effekt
I den elektroniske gassfamilien er silan, fosfan, boran og arsan mye brukt og er ekstremt viktige råvarer for IC-produksjon. Fosfoan er en viktig dopingkilde av N-type i produksjon av halvlederenheter, og den brukes også i prosesser som polysilisium kjemisk damputfelling, epitaksiale GaP-materialer, ioneimplantasjon, MOCVD-prosess og fremstilling av passive filmer på fosforsilisiumglass (PSG).
PH3, brannfarlig, eksplosiv, svært giftig, med toksisitetsnivåer på PEL/TLV 0,3ppm, STEL 1ppm, LC50 20ppm, IDLH 200ppm, er et svært giftig, farlig stoff.
Nødberedskap og deponering
1、 Nødberedskap ved lekkasje
Evakuer personell raskt fra det forurensede området til motvinden og isoler dem umiddelbart i 450 meter, med strenge restriksjoner på inn- og utkjøring. Kutt av brannkilden. Det anbefales at nødpersonell bruker selvforsynt åndedrettsvern med overtrykk og verneklær. Kutt av kilden til lekkasje så mye som mulig. Rimelig ventilasjon og akselerert diffusjon. Fortynn og løs opp med sprayvann. Bygge voller eller grave groper for å inneholde en stor mengde avløpsvann som genereres. Hvis mulig, bruk en avtrekksvifte for å levere den lekkede gassen til et åpent område eller installer en passende dyse for å brenne den av. Lekkasjebeholdere skal håndteres, repareres og inspiseres på riktig måte før bruk.
2、 Beskyttende tiltak
Åndedrettsvern: Under normale arbeidsforhold, bruk en filtrert gassmaske (helmaske). I høykonsentrasjonsmiljøer er det nødvendig å bruke luftmaske eller oksygenmaske. Det anbefales å bruke luftmaske under nødredning eller evakuering.
Øyevern: Bruk kjemiske vernebriller.
Kroppsbeskyttelse: Bruk en selvklebende gassjakke i maskestil.
Håndvern: Bruk gummihansker.
Annet: Røyking, spising og drikking er strengt forbudt på arbeidsplassen. Etter jobb, ta en dusj og skift klær. Oppretthold gode hygienevaner. Inntreden i tanker, begrensede rom eller andre områder med høy konsentrasjon for arbeid må overvåkes av noen.
3、 Førstehjelpstiltak
Innånding: Fjern raskt fra åstedet til et sted med frisk luft. Opprettholde luftveiene åpenhet. Hvis det er vanskelig å puste, gi oksygen. Hvis pusten stopper, utfør umiddelbart kunstig åndedrett. Søk legehjelp.
Brannslokkingsmetode: Brannmenn må bruke gassmasker av filtertype (helmasker) eller åndedrettsvern av isolasjonstype, bruke brann- og gassbeskyttende klær for hele kroppen og slukke brannen i motvind. Kutt av luftkilden. Hvis gasskilden ikke umiddelbart kan kuttes, er det ikke tillatt å slukke den brennende gassen. Spray vann for å avkjøle beholderen, og flytt beholderen om mulig fra brannen til et åpent område. Slukningsmiddel: sprayvann, skum, tørt pulver, karbondioksid.
