Gassbeskrivelse
Tetrafluorkarbon, også kjent som tetrafluormetan. Fargeløs, luktfri og luktfri gass. Uløselig i vann, 0,0015 ved 25 ℃ under normalt trykk, løselig i kloroform og benzen. Dette produktet er ikke giftig og ikke brennbart. Ved høye konsentrasjoner har det en bedøvende effekt. Dens høyrente gass og blandingen med høyrent oksygen er for tiden den mest brukte plasmaetsegassen i mikroelektronikkindustrien. Chemicalbook kan også brukes som et lavtemperaturkjølemiddel og isolasjonsmedium. God kjemisk og termisk stabilitet, inert for mange reagenser, ikke hydrolysert ved 1000 ℃. Det reagerer ikke med kobber, nikkel og wolfram ved romtemperatur. På grunn av den sterke kjemiske stabiliteten til CF-bindingen, kan perfluorkarboner representert ved CF4 anses å være i hovedsak ikke-giftige.
Hovedbruk
Karbontetrafluorid er for tiden den mest brukte plasmaetsegassen i mikroelektronikkindustrien. Det er mye brukt for etsing av tynnfilmmaterialer som silisium, silisiumdioksid, silisiumnitrid, fosforsilikatglass og wolfram. Det er også mye brukt i overflaterengjøring av elektroniske enheter, produksjon av solceller, laserteknologi, lavtemperaturkjøling, gassisolasjon, lekkasjedeteksjonsmidler, holdningskontroll av romraketter, rengjøringsmidler, smøremidler og bremsevæsker i produksjon av trykte kretser . På grunn av sin sterke kjemiske stabilitet kan CF4 også brukes i industrier som metallsmelting og plast.
Oppbevaring og forholdsregler
Oppbevares i et kjølig og ventilert ikke-brennbar gass dedikert lager. Hold deg unna gnister og varmekilder. Lagringstemperaturen bør ikke overstige 30 ℃. Det bør lagres atskilt fra brennbare materialer og oksidanter, og blandet lagring bør unngås. Lagerområdet bør utstyres med beredskapsutstyr for lekkasjer.
