• Produktsenter

    Blandet gass

    Elektronisk blanding

    Produktklassifisering: Elektronisk blanding

    TidligereTilbake til listenNeste

    produkt detaljer

    Elektroniske blandede gasser er mye brukt i storskala integrerte kretser (LSI), ultra storskala integrerte kretser (VLSI) og produksjon av halvlederenheter. De brukes hovedsakelig i gassfase-epitaksi (produksjon), kjemisk dampavsetning, doping (urenhetsdiffusjon), ulike etse- og ioneimplantasjonsprosesser.


    Ingen elektronisk sammendrag av blandingsgass

    1. Diklorsilan (DCS) 5000 ppm+N2; Diklorsilan (DCS) 15 ppm+N2

    2 diklorsilan (DCS) 10 ppm + triklorsilan (TCS) 10 ppm + helium

    3 HCI 50 ppm + diklorsilan (DCS) 1000 ppm + likevekt He

    4 Silan 1%+Diklorsilan (DCS) 1%+Triklorsilan (TCS) 1%+Tetraklorsilan 1%+Nitrogen

    5 Silan 50ppm+Triklorsilan (TCS) 1000ppm+He

    6 Triklorsilan (TCS) 15 ppm+N2

    7 Etylsilan (Si2H4) 100ppm~200ppm+H2

    8 Etylsilan 10 ppm+He

    9 CO2 5 ppm+silan 135 ppm+etylsilan 1000 ppm+He

    10 SiH4 5ppm~15%+Ar (H2/N2/He)

    11 H2 5ppm+Ar 5ppm+N2 5ppm+CO 5ppm+CH4 5ppm+Equilibrium He av CO2 5ppm+silan 1000ppm

    12 Etylboran 50-100 ppm+H2

    13 Arsenan 100 ppm~0,7%+H2

    14 germanan 1%~10%+H2

    15 Bortriklorid 1%~5%+N2 (He)

    16 PH3 0,8 ppm~500 ppm+He (H2)

    17 HC1 9 ppm~50%+N2

    18 NF3 99,99 % 180g~1500g

    19 NF3 20ppm~30ppm+luft

    20 NF3 15 ppm+N2

    21 CF4 80%+O2

    22 Ar 5ppm~80%+Ne (H2/He/N2)

    DKK 23 8%~50%+år

    24 Nei 80%~97%+Ar